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      FBA6432_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

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      FBA6432_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

      FBA6432D_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型雙臂雙手指晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

      產(chǎn)品描述


      5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
      FBA6432_FBA系列半導(dǎo)體機器人
       
      • 采用閉環(huán)伺服控制
      • 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長和Z軸行程
      • 可選配免電池絕對式編碼器
      • 可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式

      臂長

      640mm

      額定/最大負載

      4kg

      搬運物

      ≤Φ300mm晶圓

      新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

      關(guān)鍵詞:

      新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

      規(guī)格參數(shù)

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